型号:SU8600,Symmetry S3,Ultim Max 170
制造厂家:日立株式会社
购置时间:2024年4月
1. 冷场扫描电子显微镜 (SU8600):分辨率0.6 nm,放大倍率20至100万倍,最大样品尺寸150 mm。
2. EBSD 探测器 (Symmetry S3):CCD相机分辨率1244×1024,极限速度870 Hz,空间分辨率2 nm,角分辨率优于0.1。
3. EDS 探测器 (Ultim Max 170):能量分辨率127 eV,最大计数率1,500,000 cps,元素检测范围Be-Cf,探测器面积40~170 mm。
1. 该设备具有超高的二次电子分辨率,达到0.6nm。采用E×B技术,可以实现低电压背散射相片的获得。
2. 配有牛津先进的EBSD 探测器 Symmetry S3,实现电子衍射背散射信号的快速获取,具备样品的大面积拼接功能。
3. 配备了170mm大面积EDS探测器,实现EDS的快速采集。在超大放大倍数下,仍可实现元素面分布测量。
4. 集成5 Kv元素分析数据库,低压下可进行元素分析。
日立SU8600扫描电子显微镜、牛津EDS与EBSD。
Hitachi SU8600 FE-SEM
按测试机时收费。
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